Caractérisation Des Couches Minces De Nitrure De Titane Obtenus Par P.v.d. Diagnostic Du Plasma
Résumé: Les méthodes les plus récentes pour augmenter la durée de vie des outils et pour améliorer la finition des pièces revêtues sont les dépôts de couches minces. Ces méthodes trouvent des applications toujours croissantes et des avantages significatifs à leurs utilisateurs.La première partie de cette étude a été consacrée à la caractérisation du plasma par une sonde de Langmuir ; Potentiel flottant, potentiel plasma, température électronique, densité électronique, densité ionique et longueur de Debye.Dans la seconde partie de cette étude des couches minces de TiN ont été élaborées par pulvérisation magnétron. L'influence de différents paramètres a été corrélée avec la structure cristalline, cette étude a été complétée par d'autres analyses ; Recuit thermique, test d'usure et microdéroulage d'outils revêtus de TiN.
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