دراسة عذدية نغاز الأرغىن عىذ تىضع انطبمات انرليمة بىاسطة تمىية انرويه انسيكهىترووي Ecr

Résumé: Dans notre travail, nous sommes intéressés à la détermination des propriétés électriques du gaz argon utilisé dans la technique de déposition des couches minces assisté par plasma généré par la résonance cyclotronique (PECVD-RCE), Cette technique fait partie des techniques les plus utilisées dans le domaine de la microélectronique. Nous avons proposé la modélisation numérique pour étudier (la densité ionique ni, la densité électronique ne, la densité des particules neutres nn) à l'intérieur d'un type de réacteur DECR (Distributed Electron Cyclotron Resonance) en présence d’un champ magnétique variable dans l’espace. Nous appliquons le modèle fluide à une dimension pour un système stationnaire dans les conditions expérimentales de T. V. Tran (1992) (Tgaz=300K, Pgaz=1.5mTorr, Te=1.25eV). Ce modèle est basé sur l’équation de continuité du modèle fluide. Les valeurs du champ magnétique ont été déterminées géométriquement et numériquement ; les coefficients de mobilité et de diffusion sont calculés en présence du champ magnétique. Nous avons réalisé un programme de calcul numérique en langage fortran77. qui applique la Méthode des Différences Finies et l'algorithme itératif de Gauss-Seidel. Les distributions des densités calculées sont en bon accord avec les résultats des travaux T. V. Tran.

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