Etude D'une De Charge Micro -onde D’oxygène Excitée A 2450 Mhz Dans Des Tubes De Grand Diametre
Résumé: Cette thèse présente a la fois propagation d'onde et caractérisation expérimentale d'une plasma micro-onde existé a la fréquence industrie de 2450 MHZ dans structure de grand diamètre (120 mn) .Le gaz utilisé sont ter-gan et l'oxegen avec de pression de l’ordre du torr.Le chapitre porte sur un rappel des résultat sur un rappel des résultat sur les décharge entretenues par onde de surface dans des structure de petits diamante r (propagation d'onde. maintien de la décharge densité électronique et caractéristique de décharge ).On passé ensuite a l’étude du plasma micro -onde de grand diamètre. On présente dans le chapitre 2 la résolution de déqualification de dérépression des déferrent modes pauvant se propager dans la structure cylindrique constitue de trois milieux .Dans le chapitre 3 on décrit le montage expérimental les conditions découlement et les différente diagnostique utilisé enferme électrique banc interférométrique et spectroscopie Emissions, on caractérise ainsi la plasma dans les trois directions: longitudinal, azimutale et radial. Le chapitre 5 presente un bilan des résultat obtenus dans la décharge .Les longucurs du plasmas'étalont de 15 cm en oxségenee pur a la 1,3 m on argon pour des puissance micro -onde de l'odre de 1 kw. les densités électronique musére par le diagnostic H.F. Sont de l'ordre de 10 cm .le développement théorique montre que le plasma entretenu par plusieurs modes plasma .Les museur longitudinales(électrique ou spectroscopique) présentent des modulation expliquées par un phénomène de battement d'onde du a une propagation multimode de décharge. Les mesures azimutal confirment la propagation majoritaire du mode plasma a symétrie azimutal hexapolaire. La distribution des états excitées suivent la configuration du champ électromagnétique. Quant a la densité de l'oxegéne atomique neutre de la décharge , est de lordre1% présenta,t un profil homogène dans le strois déréctions.
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