Elaboration Et Caractérisation Des Couches Minces Du Sno2 Non Dopée Et Dopées Fluor Par Spray Pyrolyse
Résumé: Dans ce travail, nous avons élaboré et caractérisé des couches minces d’oxyde d’étain(SnO2) non dopée et dopées Fluor pour différents taux 6%, 8%, 10% et 12% déposées par spray pyrolyse. Les résultats de la caractérisation de DRX montre queles couches sont cristallines avec une structure cubique due à l’existence du pic plus intense relatif à l’orientation (111) situé autour de l’angle 31.69° pour tous les films déposés. L’analyse par le spectrophotomètre UV-Visible montre une augmentation de la transmittance (de 65% à 76%) et le gap optique (de 3.46 eV à 3.92 eV) avec une décroissance de l’indice de réfraction et la porosité en fonction de dopage F. Pour la caractérisation électrique, la conductivité électrique variée entre 3.885 (Ω.cm)-1 et 79.103 (Ω.cm)-1pour les films dopés Fluor dans la plage 0%-12%. Donc, le Fluor est un paramètre important utilisé pour améliorer la transmittance et la conductivité des films à base de SnO2 élaborés par Spray pyrolyse.
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