وضع المعادلات لدراسة توضع الطبقات الرقيقة لمزيج غازي بواسطة تقنية Pecvd-decr
Résumé: تقنية توضع الطبقات الرقيقة بواسطة بلازما الرنين السيكلوتروني (PECVD – ECR)تعد من التقنيات الأكثر استخداما في مجال الصناعة والإلكترونيات الدقيقة، تسمح هاته التقنية بالترسيب مختلف أنواع المواد [1]. يستعمل ترسيب السيليسيوم باستعمال هاته التقنية في عدة تطبيقات ضوئية . في دراستنا قمنا بتحضير النمذجة العددية لدراسة الخصائص الكهربائية (الكثافة الإلكترونية ne، الكثافة الأيونية niو كثافة الجسيمات الحيادية nn و الحقل الكهربائي) لغاز الأرغون داخل مفاعل توزيع الرنين السيكلوتروني Distributed Electron Cyclotron Resonance (DECR) في بعد واحد Zوباعتبار النظام مستقر. وقد استعنا في الدراسة بنموذج الموائع و بتحديد معادلة الاستمرارية و معادلة بواسون. بانجاز برنامج عددي بلغة الفورتران 77 وبتطبيق طريقة الفروق المنتهية وغوص صايدل التكرارية نتمكن من حساب توزيع الكثافات على طول المحور Z .
Mots-clès:
Nos services universitaires et académiques
Thèses-Algérie vous propose ses divers services d’édition: mise en page, révision, correction, traduction, analyse du plagiat, ainsi que la réalisation des supports graphiques et de présentation (Slideshows).
Obtenez dès à présent et en toute facilité votre devis gratuit et une estimation de la durée de réalisation et bénéficiez d'une qualité de travail irréprochable et d'un temps de livraison imbattable!