Metal-assisted Electroless Etching Of Silicon In Aqueous Nh 4hf 2 Solution
2012
Articles Scientifiques Et Publications

Université M'hamed Bougara - Boumerdes

B
Brahiti, Naima
B
Bouanik, Sihem-Aissiou
T
Toufik Hadjersi, Toufik

Résumé: NaN

Mots-clès:

silicon nanostructures
silicon nanowires
metal
assisted electroless etching
catalyst
chemical deposition
electroless
electroless chemical etching
etching parameters
etching process
etching solutions
etching temperature
new solutions
p
type silicon
silicon surfaces
silicon substrates
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