L'alternative Mems Capacitive Et Mems Piézorésistive Pour Une Application Médicale
Résumé: Plusieurs domaines exigent l'utilisation des capteurs de pression avec des performances de plus en plus élevées. Dans ce travail nous allons comparer, l'alternative MEMS capacitive, à celle MEMS piézorésistive, pour une application médical. Une étude comparative permettra de déterminer les caractéristiques et les limites d’utilisation de ces dispositifs, en particulier : formes, dimensions, sensibilité, dérive thermique, consommation et linéarité sur l’intervalle de mesure de la pression artérielle
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