Elaboration Et Caractérisation De Polyaniline(pani) Dopé Sur Des Couches Minces De Carbure De Silicium Amorphe
Résumé: Dans ce travail, nous avons entrepris l’élaboration et l’étude des propriétés structurales et optiques des couches minces de carbure de silicium amorphe hydrogéné (a-Si1-xCx :H), (a-SiC :H) La croissance des couches a été réalisée par deux techniques : la pulvérisation cathodique DC magnétron, et en phase vapeur assisté par plasma PECVD. Cette étape est suivie par la formation de SiC poreux (PASC : SiC amorphe) par l’anodisation électrochimique dans un électrolyte à base de 5%HF (/10%) H2O2 (30%) /H2O, en faisant vari le temps d’attaque. Par la suite, La polyaniline (PANI) a été déposée par electropolymerisation sur les couches minces poreuses (PSiC). Les structures réalisées permettent l’élaboration et la caractérisation électrique des capteurs chimiques de type (métal-semi-conducteur). Les capteurs fabriqués ont été testés pour la détection de la vapeur d’ammoniac.
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