Etude De L’influence Du Vanadium Sur Les Propriétés Des Nitrures De Chrome Etude De L’influence Du Vanadium Sur Les Propriétés Des Nitrures De Chrome Etude De L’influence Du Vanadium Sur Les Propriétés Des Nitrures De Chrome
Résumé: Ce travail a pour but de montrer la caractérisation des revêtements Cr – V – N, avec différente quantités de Cr et de V. Les revêtements CrN, VN et Cr – V – N étant déposés sur des substrats en silicium et en acier XC100 par pulvérisation cathodique magnétron réactive par radiofréquence Les revêtements sont caractérisés par diffraction des rayon X, la microanalyse X(EDS,WDS),XPS,MEB et nanoidentation La contrainte résiduelle a été calculée à l'aide de la formule de Stoney. Comparé au système CrN, les films Cr – V – N présentés une surface rugueuse basée sur la morphologie pyramidale. Une dureté de 19 .53 GPa a été obtenu pour CrN; en revanche, les revêtements Cr – V – N présentaient une dureté faible de 6.23 GPa.
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