Multirésolution Déconvolution Des Profils En Profondeur De L’analyse Par Spectrométrie De Masse Des Ions Secondaires. Cas De Silicium Dopé Par Le Bore
Résumé: Le but terminal de ce travail est l’amélioration de la résolution en profondeur, au-delà de ses limites physiques et instrumentales, de l’analyse par SIMS. Pour ce faire, nous avons adopté des algorithmes de déconvolution multirésolution post érosion pour surmonter les limites des algorithmes monorésolution proposé dans ce domaine à ce jour. En effet, ces algorithmes se basent sur la régularisation de Tikhonov-Miller avec modèle de solution, ce dernier est un signal débruité par décomposition sur une base d’ondelettes et à l’aide du filtre de kalman. Les résultats de ce traitement sont très satisfaisants, En particulier l’ordre de grandeurs des gains en résolution en profondeur et en maximum de pics. De plus, les profils déconvolués ne contiennent pas des oscillations et artefacts qui sont dus principalement à la présence du bruit dans les profils mesurés
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