Class-e/f Inverter Applied To Plasma Generator With Adaptive Control
Résumé: At the radio frequency the induction plasma generator is very attractive for several industrial applications especially in material processing, so an inductively coupled plasma generator is developed in this paper. A high-frequency power supply class-E/F inverter is required to generate the magnetic field at frequency ranging from hundreds of kilohertz to tens of megahertz offer high efficiencies at high power densities. A resonant inverter based on zero-voltage switching and an adaptive control via a backstepping based on Lyapunov theory is used as a power supply. This paper presents the circuit modelling, simulation and control considerations.
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