Elaboration Et Caractérisation D'oxydes Métalliques

Résumé: Ce travail porte sur l'élaboration et la caractérisation des couches minces d'oxydes métalliques par la méthode de spray ultrasonique sur des substrats en verre et a pour objectif l'étude de l'influence du dopage et du recuit sous air à400°C sur les propriétés optiques et électriques des couches minces des oxydes métalliques de ZnO, NiO, SnO2 et ZnO dopé Sn (1%, 2%, 4% et 6%). La spectrophotométrie UV-Visible a été utilisée pour l'étude des propriétés optiques. La méthode des quatre pointes a permis de déterminer les propriétés électriques. A partir des spectres de la transmit tance optique, nous avons utilisé une méthode d'ajustement pour déduire l'épaisseur et l'indice de réfraction puis, nous avons déterminé le coefficient d'absorption et trouvé le gap optique et l'énergie d'Urbach. Les résultats des caractéristiques optiques ont montré que le recuit sous air réduit l'épaisseur et améliore la transmit tance. L'indice de réfraction augmente après le recuit. L'énergie d'Urbach diminue après recuit et les valeurs du gap optique trouvées sont en accord avec celles de la littérature. Les caractéristiques électriques montrent que la conductivité augmente après le recuit. Les variations ont été interprétées par la réduction des défauts et l'amélioration de la qualité des couches déposées dans le matériau, par exemple, la réduction de la porosité et la diminution des joints des grains, ce qui contribue à augmenter la mobilité des porteurs de charge.

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