Étude Et Simulation Des Paramètres Géométriques D’un Capteur À Onde Acoustique De Surface (saw) Sur Environnement Comsol-multiphysique
Résumé: Dans ce travail, nous avons réalisé la simulation 2D d’un micro-capteur à ondes acoustique de surface SAW sous environnement COMSOL multi- physiqueTM. Un capteur SAW est constitué d’un transducteur interdigité (IDT) gravé sur un matériau piézoélectrique et recouvert par une couche sensible polyisobutyléne (PIB). Cette couche sensible est choisie pour ses affinités particulières avec les espèces à détecter CH2Cl2 dichlorométhane (DCM). Notre contribution, s’est focalisée sur la détermination des effets des paramètres géométriques sur la réponse d’un capteur SAW à base de LiNbO3. Cette étude montre que l’augmentation de l’épaisseur et la largeur de l'interdigité entraine une diminution de la fréquence de résonance de notre capteur SAW.
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