Élaboration Et Caractérisation Des Couches Minces D’oxyde De Zinc Par Spray Ultrasonique Pyrolyse
Résumé: Dans ce travail, nous avons étudié l’influence du temps de dépôt sur les propriétés structurales, morphologiques, électriques et optiques des couches minces d’oxyde de zinc (ZnO) déposées sur des substrats en verre par la méthode de spray pyrolyse ultrasonique. La solution utilisée dans ce dépôt est composée de méthanol et d’acétate de zinc (C4H6O4Zn. 2H2O). L’analyse par DRX a confirmé que les couches minces ZnO déposées ont une structure hexagonale Wurtzite avec une orientation préférentielle (002) suivant l'axe c perpendiculaire au substrat. L’analyse par le spectrophotomètre UV-Visible représente une caractéristique importante permettant d’évaluer la qualité des couches déposées. De plus, les échantillons élaborés ont présenté une bonne transmission qui est supérieure à 80 % dans la région UV-Vis. L’augmentation du gap optique de 3.03 à 3.23 eV avec l’augmentation du temps de dépôt de la phase cristalline avec une diminution dans le gap optique (4.09 et 3,22 eV) dans la phase amorphe.
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