Dopage Et Caractéri Sat Ion Des Couches Minces D'oxyde De Zinc Déposées Par Spray Pyrolyse Ul Trasonique
Résumé: Dans ce travail, nous avons réalisé un dispositif de Spray Pyrolyse Ultrasonique, pour déposer des couches minces d’oxyde de zinc dopé Al. Nous avons classé deux séries : La première série: la source de dopage a été Le nitrate d'aluminium (Al (NO3)3) avec pourcentage varie entre 0% jusqu'à 8%. La deuxième série: la source de dopage a été Le chlorure d'aluminium (Al Cl3) avec pourcentage varie entre 0% jusqu'à 8%. Notons que, les autres paramètres sont fixés, tel que: la température et la concentration d’oxyde de zinc. L’objectif de ce travail est l’étude de l’effet de dopage sur les propriétés optiques, structurales et électriques des couches minces d’oxyde de zinc.
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