دراسة في ثلاث أبعاد للمقادير الكهربائية في جهاز الرش المهبطي المغنطروني باستعمال طريقة الحجوم المنتهية
Résumé: يهتم عملنا هذا بتحديد خصائص بلازما الأرغون Ar (الكثافة الإلكترونية–الكثافة الأيونية–الحقل الكهربائي–الكمون الكهربائي) المستعملة لتوضع طبقات السيليسيوم Siفي مهبط أسطواني. بالإعتماد على طريقة الرش المهبطي المغنطروني المغذى بمصدر جهد متناوب RFذو تردد مذياعي تواتره MHz13.56. استعملنا لحل هذه المسألة نموذج الموائع لنظام مستقر و في تناظر أسطواني. يعتمد نموذج الموائع على معادلة الاستمرارية (للإلكترونات و الأيونات) و معادلة بواسن. للحل العددي لهذه المعادلات التفاضلية إعتمدنا على طريقة الحجوم المنتهية و الطريقة التكرارية غوص-صيدل لحساب الكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية. أما لحساب الحقل الكهربائي فاستعملنا الحساب المباشر. النتائج التي تحصلنا عليها للكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية أبدت توافقا مع نتائج أعمال أخرى. أما عن تأثير الحقل المغناطيسي و بعض الخصائص الماكروسكوبية فتبين لنا أن لهم دور كبير في الزيادة من خصائص البلازما خاصة الكثافة الإلكترونية و الكثافة الأيونية (بنسبة %23.63) وبالتالي زيادة مردود الرش المهبطي.
Mots-clès:
Nos services universitaires et académiques
Thèses-Algérie vous propose ses divers services d’édition: mise en page, révision, correction, traduction, analyse du plagiat, ainsi que la réalisation des supports graphiques et de présentation (Slideshows).
Obtenez dès à présent et en toute facilité votre devis gratuit et une estimation de la durée de réalisation et bénéficiez d'une qualité de travail irréprochable et d'un temps de livraison imbattable!
Aucun fichier associé
Si le fichier est volumineux, l'affichage peut échouer. Vous pouvez obtenir le fichier directement en cliquant sur le bouton "Télécharger".
