Spectroscopie Et Processus Atomiques Du Gaz Réactif Dans Un Pulvérisateur Cathodique
Résumé: تعتبر دراسة حركية البلازما أثناء ترسب الطبقات الرقيقة مهمة بسبب دورها في فهم تكوين الطبقات الرقيقة و خواصها الإليكترونية و الضوئية و البيزومترية؛ هاته الخواص لها العديد من التطبيقات في مختلف المجالات الصناعية. نهتم في هذا العمل بدراسة التغيرات في المقاطع الفعالة ومعدلات معاملات العمليات الأولية، وتطور كثافات حالات الطاقة لذرة الأرغون و كذلك المساهمات النسبية للعمليات الأولية في الإسكان و فقد السكان لمختلف حالات الطاقة. لتحقيق هذا الهدف استخدمنا النموذج التصادمي الإشعاعي (CRM) ثم طبقنا نموذجنا على جهاز الرش المهبطي المغنطروني ذو التواتر المذياعي RF . تظهر النتائج أن العمليات الإسكانية الرئيسية للحالات الذرية p54s3 هي فقد الإثارة الإشعاعية للمستويات العليا حيث تمثل 77.69٪ و 65.75٪ و 81.72٪ و 36.17٪ للمستويات s51 و s41 و s31 و s21 على التوالي. مساهمة عملية الإثارة بالتصادم الإلكتروني انطلاقا من الحالة الأساسية كبيرة، فهي 22.04٪، 17.86٪ للحالات الطاقوية شبه المستقرة 1s5 و 1s3 و تمثل 31.89٪، و 63.36٪ للحالات الطاقوية الرنانة 1s4 ،1s2 على التوالي. يعد التأين من النوع بينينغ (Ionization de type Penning) مهمًا في تناقص كثافة الذرات في الحالات الطاقوية (3p54s: 1s5،1s3) الشبه المستقرة حيث يمثل 90 ٪ من عمليات الفقد، بينما لا يساهم تأثير الانتشار في التناقص إلا نسبة 5 ٪ تقريبًا. بالنسبة للحالات الطاقوية الرنانة (3p54s:1s4،1s2) يمثل عملية فقد الإثارة الإشعاعي أكثر من 99٪ من عمليات الخسارة؛ أما بالنسبة للعمليات الأخرى فتبقى أقل أهمية. كما تظهر النتائج أن الخصائص المختلفة للبلازما ليست متماثلة فيما يتعلق بمركز المفاعل بسبب وجود المجال المغناطيسي عند الكاتود.
Mots-clès:
Nos services universitaires et académiques
Thèses-Algérie vous propose ses divers services d’édition: mise en page, révision, correction, traduction, analyse du plagiat, ainsi que la réalisation des supports graphiques et de présentation (Slideshows).
Obtenez dès à présent et en toute facilité votre devis gratuit et une estimation de la durée de réalisation et bénéficiez d'une qualité de travail irréprochable et d'un temps de livraison imbattable!
Aucun fichier associé
Si le fichier est volumineux, l'affichage peut échouer. Vous pouvez obtenir le fichier directement en cliquant sur le bouton "Télécharger".
