Etude De L’impact Des Paramètres Structuraux Sur Les Caractéristiques Électriques D’un Mosfet-soi
Résumé: A l’heure où la miniaturisation des technologies CMOS sur substrat massif atteint des limites, la technologie FDSOI (silicium sur isolant totalement déserté) s’impose comme une alternative pour l’industrie en raison de ses meilleures performances. Dans cette technologie, l’utilisation d’un substrat SOI ultramince améliore le comportement des transistors MOSFETs et garantit leur intégrité électrostatique pour des dimensions en deçà de 28nm. L’apparition des nouveaux procédés de fabrication notamment la photolithographie a donné naissance à de nouvelles architectures pour les transistors MOSFETs dit ‘la technologie SOI’. Ce procédé a permis entre autre, un meilleur contrôle des effets canaux courts. L’objectif de cette étude est de mettre en évidence par simulation les effets des canaux courts dans les transistors MOSFET, et d’étudier les paramètres pouvant influencer la variation de ces effets. Ce travail fut réalisé par le biais du simulateur SILVACO- TCAD et nous a permis d’examiner les caractéristiques électriques d’une telle structure pour laquelle nous avons pu examiner les effets de la variation de certains de ses paramètres sur ses caractéristiques électriques pour différent température.
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