Contribution À La Réalisation D’une Technique Pour La Cartographie Des Défauts Paramagnétiques Dans Les Matériaux Diélectriques Utilisés En Microélectronique
Résumé: La fiabilité des transistors MOSFET au cours du temps a fait l’objet de nombreuses études. Nous avons fait le choix dans notre travail de se focaliser sur la caractérisation de la microstructure des défauts. Les techniques utilisées dans ce travail pour l’identification de microstructures des défauts sont basées sur la résonance paramagnétique électronique (RPE) et appelées Low Field Electrically Detected Magnetic Resonance (EDMR). Dans ce travail nous avons réalisé une technique de cartographie des défauts paramagnétiques et pour cela ona commencé par la conception de la bobine d’Helmholtz qui génèreun champ magnétique maximum de 50.35 Gauss. Le champ magnétique fournit par cette dernière est réglé et contrôlé par un régulateur PID (Proportionnel, Intégral, Drivée) implanté sous LabVIEW. On va utiliserla bobine réalisée pour détecter les défauts dans les matériaux utilisés en micro-électronique (tranche de silicium).
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