Etude Et Simulation D’un Capteur De Pression Capacitif
Résumé: Les capteurs piézorésistifs forment la majorité des capteurs de pression disponibles sur le marché. Ces composants sont extrêmement sensibles à la température et ne peuvent fonctionner correctement sans l’addition de circuits de compensation onéreux, c’est pourquoi, depuis plusieurs années, les recherches s’orientent vers les capteurs de pression capacitifs. Le travail effectué dans ce mémoire s’insère dans ce cadre, puisqu’il consiste en l’étude du comportement mécanique et électrique d’un capteur de pression capacitif au silicium. Notre simulation est effectuée par le logiciel COMSOL multiphisics, et nous a permis d’étudier entre autre l’influence de l’épaisseur du diélectrique, l’épaisseur de la membrane, ainsi que la température sur la réponse capacitive du capteur
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