Etude Et Simulation D’un Microcapteur Chimique
Résumé: Les microcapteurs constituent un axe de recherche très fertile et peuvent être appliqué dans plusieurs domaines differents.au cours de ce mémoire nous sommes intéressées à l’étude d’un microcapteur chimique ISFET. Apres avoir décrit l’état de l’art sur les capteurs et microcapteurs ainsi une étude bibliographique sur le microcapteur chimique(ISFET), nous avons procédé à une simulation des différentes étapes de fabrication technologique (oxydation, diffusion, gravure…) avec SILVACO(outil Athena) l’étude de distibution des porteurs est pour but d’optimiser la concentration des ions d’Arsenic et les profondeurs des jonctions des zones actives(drain/source)
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