Etude Et Application De Microcapteurs: Cas De Fet
Résumé: Les microcapteurs constituent un axe de recherche très fertile et peuvent être appliqué dans plusieurs domaines différents. Au cours de ce mémoire nous sommes intéressées à l’étude d’un microcapteur chimique ISFET. Apres avoir décrit l’état de l’art sur les capteurs et microcapteurs ainsi une étude bibliographique sur le microcapteur chimique(ChemFET), nous avons procédé à une simulation des différentes équations électrique et chimique d’un pH-ISFET avec Matlab dans le but d’étudier la sensibilité du capteur en fonction de la membrane ionosensible. La mise au point d’une filière technologique de fabrication demande de définir des opérations technologiques successives indépendantes et compatibles entre elles.
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