Caractérisation Des Plasmas Froids D'hydrocarbures Azote/méthane Et Argon/méthane : Application Aux Dépôts De Couches Minces.
Résumé: La formation de poudres a été observée dans divers procédés plasmas de décharge, et plus particulièrement ceux utilisant des gaz réactifs tels que le méthane et l’acétylène ou encore le silane. Pour réaliser cette étude, nous avons considéré deux mélanges gazeux : et 4ArCH2NCH . Pour caractériser notre décharge, nous avons mesuré les évolutions temporelles de la tension VDC, de l’amplitude de la 3H, de la densité électronique et de la température électronique. La corrélation entre les différentes mesures a permis de montrer que la croissance de poudres dans la décharge est un processus à quatre étapes. Par contre, la durée des différentes étapes est différente et plus particulièrement pour la phase d’accumulation. Nous avons aussi montré qu’à l’extinction du plasma, les poudres gardent une charge résiduelle qui est étroitement liée au processus de diffusion dominant. L’analyse des films déposés notamment par la technique FTIR a permis d’identifier les différents groupes chimiques qui les composent.
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