Etude Des Propriétés Mécaniques Et Structurelles Des Couches Ternaires De Mozrn Déposées Sur Substrat Xc100 Par Pulvérisation Cathodique À Magnétron
Résumé: Le but de ce travail est d’étudier l'interaction entre le Molybdène, l’Azote et le Zirconium, en déposant des couches minces de Mo-N ,Mo-Zr-N et Zr-N sur des substrats en Silicium et en aciers de type XC par la pulvérisation cathodique F.R avec deux cible (Mo, Zr) pour obtenir des couches de Mo-N , Mo-Zr-N et ZrN. L'influence des ratios des gaz plasmagènes, des tensions d’auto polarisation des cibles et le pourcentage du Carbone sur les propriétés des revêtements ont été étudiées, en utilisant l’EDS, la WDS, l’XPS, la DRX, le MEB, l’AFM, le microscope optique, la nanoindentation, la tribométrie alternative et le Scratch test. Les contraintes résiduelles mesurées avec la formule de Stoney. L'objectif est d'établir une corrélation entre les propriétés physico-chimiques, mécaniques et le comportement tribologique des revêtements étudiés. Grâce à la maîtrise des paramètres de déposition, différentes microstructures, associées à différentes propriétés, ont été obtenues. Et grâce à la formation des nitrures de Molybdène et de Zirconium, la dureté optimale et la résistance à l'usure élevée ont été développées
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