Caractérisation Par Ellipsométrie Et Par Réflectométrie Rx Des Multicouches Nanométriques De Tungstène-carbone (w-c) Formés Par Pulvérisation Cathodique

Résumé: Nous avons consacré ce travail à la présentation des méthodes de croissances des couches minces en s’intéressant plus particulièrement à la méthode de la pulvérisation cathodique et à la méthode PLD. Les couches nanométriques de tungstène-carbone élaborées essentiellement par pulvérisation cathodique ont été caractérisées par ellipsométrie et par réflectométrie RX. Ces deux techniques ont permis de contrôler les couches étape par étape en déterminant les paramètres associés comme la période et la rugosité. Bien que le but du travail n’a pas été atteint (détermination des propriétés mécaniques des multicouches comme la dureté ou le module de Young), nous pouvons déjà dire que les couches que nous avons élaborées sont de bonnes qualités. Les premiers tests que nous avons commencés en mesurant quelques propriétés nanométriques par nanoindentation sont très encourageants et méritent d’être approfondi c’est ce que nous envisageons en perspective.

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